接觸速度（Z 方向）

0.1 至 1 mm/s

0.1 至 1 mm/s

測桿長度

175 mm, 350 mm

175 mm, 350 mm

測量速度（文本）

0.2 mm/s 至 4 mm/s

0.2 mm/s 至 4 mm/s

針尖半徑

25 µm

25 µm

掃描長度末尾（X 方向）

120 mm

120 mm

分辨率

Z 方向，相對探針針頭：0.38 µm（350 mm 測桿）/ 0.19 µm（175 mm 測桿）
           在 Z 方向，相對于測量系統：0.04 µm

Z 方向，相對探針針頭：0.38 µm（350 mm 測桿）/ 0.19 µm（175 mm 測桿）
           在 Z 方向，相對于測量系統：0.04 µm

掃描長度開始（X 方向）

0.2 mm

0.2 mm

取樣角

在平滑表面上，取決于偏差：后緣高至 88°，前緣高至 77°

在平滑表面上，取決于偏差：后緣高至 88°，前緣高至 77°

定位速度（文本）

X 方向返回速度：0.2 至 8 mm/s
           Z 方向：0.2 至 10 mm/s

X 方向返回速度：0.2 至 8 mm/s
           Z 方向：0.2 至 10 mm/s

導塊偏差

< 1 µm（超過 120 mm）

< 1 µm（超過 120 mm）

測量范圍 mm

（Z 方向）50 mm

（Z 方向）50 mm

掃描長度（文本）

0.2 mm 至 120 mm

0.2 mm 至 120 mm

測量力 (N)

1 mN 至 120 mN

1 mN 至 120 mN