S600系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器適用于各種行業(yè)和應(yīng)用。S600系列可以控制廣泛的流量：從3 SCCM到500 SLM，并具有各種類型的通信可用，即模擬、RS485、DeviceNet™、PROFIBUS™和EtherCAT®。

產(chǎn)品型號(hào)：HORIBA

更新時(shí)間：2025-04-07

廠商性質(zhì)：代理商

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產(chǎn)品介紹

品牌	HORIBA/堀場(chǎng)	價(jià)格區(qū)間	面議
產(chǎn)品種類	差壓式	介質(zhì)分類	氣體
產(chǎn)地類別	進(jìn)口	應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,電子/電池,制藥/生物制藥
控制范圍	3 SCCM到500 SLM	支持氣體	多種氣體（支持用戶自定義設(shè)置）
控制精度	±1.0%	響應(yīng)時(shí)間	≤1.5 秒
通信接口	RS-485、DeviceNet、EtherCAT、模擬（0–5V/4–20mA）

HORIBA S600系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器（MFC）

產(chǎn)品概述

S600系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器由日本HORIBA STEC公司研發(fā)，是一款高性能、高可靠性的MFC產(chǎn)品，適用于半導(dǎo)體、光伏、生物醫(yī)藥、食品包裝等多個(gè)制造領(lǐng)域。該系列控制器采用優(yōu)良的數(shù)字控制技術(shù)，具備出色的穩(wěn)定性、精度及通訊能力，廣泛應(yīng)用于對(duì)氣體流量控制要求較高的場(chǎng)合。

產(chǎn)品特點(diǎn)

寬流量控制范圍
控制范圍覆蓋 3 SCCM 到 500 SLM，適配各種氣體和工藝需求。
高控制精度
控制精度高達(dá) ±1.0% S.P.，響應(yīng)時(shí)間小于 1.5 秒，確?？刂七^(guò)程的高一致性。
多種通訊接口
支持 RS485、DeviceNet™、PROFIBUS™、EtherCAT® 及模擬 0–5V DC 信號(hào)輸出，便于系統(tǒng)集成。
多供電及密封選項(xiàng)
支持 ±15VDC 與 24VDC 兩種供電，提供橡膠密封或金屬密封可選，適應(yīng)不同使用環(huán)境。
優(yōu)異的長(zhǎng)期穩(wěn)定性與耐久性
高可靠性設(shè)計(jì)，適應(yīng)嚴(yán)苛工業(yè)環(huán)境，減少維護(hù)頻次。

技術(shù)規(guī)格

1/4" VCR、Swagelok、卡套接頭等

參數(shù)	數(shù)值
可控氣體種類	N?、O?、Ar、He、H?、空氣等
流量控制范圍	3 SCCM ~ 500 SLM
控制精度	±1.0% S.P.
重復(fù)精度	±0.2% F.S.
響應(yīng)時(shí)間	≤ 1.5 秒
通訊方式	模擬 0–5V、RS485、DeviceNet、EtherCAT、PROFIBUS
供電電壓	±15VDC 或 +24VDC
接頭類型	1/4" VCR、Swagelok、卡套接頭等
密封形式	橡膠密封（R）、金屬密封（M）
安裝方向	任意方向
工作環(huán)境	5–45°C，濕度小于90%RH