HORIBA D700T 壓力不敏感質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品概述

HORIBA D700T 是一款面向半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的壓力不敏感質(zhì)量流量控制器，采用優(yōu)良的 CRITERION® 壓力式流量測量與控制技術(shù)，具備出色的響應(yīng)速度、壓力不敏感性和高精度控制能力。該產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、顯示器、光電子等制造領(lǐng)域的氣體輸送系統(tǒng)中。

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 超快響應(yīng)時間
  配備新一代控制算法和雙閥門結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)了 小于 100 ms 的高速響應(yīng)，大幅提高了生產(chǎn)效率。

• 進(jìn)/出口壓力變化不敏感
  補(bǔ)償機(jī)制可在工藝過程中壓力波動的情況下維持穩(wěn)定流量，保障工藝一致性。

• 高重復(fù)性與高精度

• 重復(fù)性：≤ ±0.15% F.S.

• 精度：優(yōu)良可達(dá) ±0.45% S.P.，典型值為 ±0.8% S.P.

• 故障檢測與自診斷功能
  具備優(yōu)良的自診斷能力，實時監(jiān)測并反饋壓力漂移、閥體泄漏等潛在風(fēng)險。

• 數(shù)字化通信接口
  支持DeviceNet、PROFIBUS、EtherCAT等工業(yè)協(xié)議，方便與上位系統(tǒng)集成。

• 適應(yīng)嚴(yán)苛工藝環(huán)境
  工作溫度范圍：15°C ~ 60°C，適用于各種潔凈室條件。

技術(shù)規(guī)格

應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體前段工藝（如刻蝕、沉積、離子注入）

• 顯示面板制造

• 化學(xué)氣相沉積（CVD）

• 原子層沉積（ALD）

• 光電子與精密材料工藝