SEC-Z512/514//522/524HORIBA高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器是 HORIBA 暢銷的數(shù)字式質(zhì)量流量控制器。它具有多量程/多氣體功能，用戶能夠快速方便地現(xiàn)場更改氣體類型或滿量程流量。

產(chǎn)品型號：SEC-Z512/514//522/524

更新時間：2025-04-21

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產(chǎn)品介紹

品牌	HORIBA/堀場	價格區(qū)間	面議
產(chǎn)品種類	差壓式	介質(zhì)分類	氣體
產(chǎn)地類別	進口	應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,電子/電池,制藥/生物制藥
控制范圍	10 SCCM ～ 500 SLM（以氮氣 N? 為基準(zhǔn)）	支持氣體	多種氣體（支持用戶自定義設(shè)置）
控制精度	±1.0% S.P.	響應(yīng)時間	≤ 1 秒
通信接口	模擬（0-5 V / 4-20 mA）、數(shù)字、DeviceNet?、EtherCAT?

SEC-Z512/514//522/524 HORIBA高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品概述

HORIBA 的 SEC-Z500X 系列是HORIBA高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），集成多氣體/多量程功能，具備出色的精度、響應(yīng)速度和穩(wěn)定性，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、光纖制造等高要求工業(yè)過程控制場景。

產(chǎn)品特點

寬流量控制范圍
控制范圍覆蓋 10 SCCM ～ 500 SLM，適配各種氣體和工藝需求。
高控制精度
控制精度高達(dá) ±1.0% S.P.，裝配“可變 PID 系統(tǒng)"，可在任意兩個設(shè)定點之間實現(xiàn) 1 秒響應(yīng)。
多種通訊接口
支持 RS485、DeviceNet™、PROFIBUS™、EtherCAT® 及模擬 0–5V DC 信號輸出，便于系統(tǒng)集成。
多供電及密封選項
支持 ±15VDC 與 24VDC 兩種供電，提供橡膠密封或金屬密封可選，適應(yīng)不同使用環(huán)境。
優(yōu)異的長期穩(wěn)定性與耐久性
高可靠性設(shè)計，適應(yīng)嚴(yán)苛工業(yè)環(huán)境，減少維護頻次。