HORIBA STEC SEC-Z512 高性能數字式質量流量控制器（MFC）

產品簡介

HORIBA STEC SEC-Z512 是一款廣泛應用于半導體、光伏、LED 和液晶面板制造行業的高精度數字式質量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC）。它采用熱式質量流量計原理，并結合 HORIBA 的多氣體多量程（Multi-Gas / Multi-Range, MGMR）數字控制技術，滿足多種氣體類型與工藝需求，是現代潔凈室工藝中精準氣體輸送的理想選擇。

產品特點

• MGMR功能（多氣體多量程）：用戶可通過軟件快速切換氣體種類和量程，支持靈活多變的工藝組合，無需實體更換設備，節省時間與成本。

• 高精度流量控制：在不同設定范圍內均可實現 ±1.0% of Set Point 或 ±0.25% of Full Scale 的精準控制，確保氣體比例穩定。

• 超快響應速度：小于1秒的響應時間，適配快速變化的工藝需求，提高整體工藝效率。

• 多種通信方式兼容：支持模擬信號（0–5V、0–10V、4–20mA）與數字通信（RS-485、DeviceNet、EtherCAT、PROFIBUS 等），便于集成至多種控制系統。

• 全金屬密封結構：主體采用高純度 316L 不銹鋼材料制造，適合高純、高腐蝕性氣體環境，具備氣密性和耐用性。

• 結構緊湊，易于集成：緊湊型外形尺寸便于模塊化裝配，適配主流半導體設備架構。

技術參數

• 流量測量原理：熱式質量流量傳感（Thermal Mass Flow Sensing）

• 控制方式：可變 PID 控制算法

• 適用氣體：支持 N?、Ar、O?、H?、CF?、NF?、SF?、SiH?、PH? 等多種腐蝕性與非腐蝕性工藝氣體

• 精度：

• 設定值大于 25% F.S. 時，精度為 ±1.0% of Set Point

• 設定值小于等于 25% F.S. 時，精度為 ±0.25% of Full Scale

• 響應時間：小于 1 秒

• 流量范圍：10 SCCM 至 50 SLM（具體范圍視型號配置）

• 通信接口：

• 模擬型支持：0–5V / 0–10V / 4–20mA

• 數字型支持：RS-485（F-NET）、DeviceNet、EtherCAT、PROFIBUS

• 電源輸入：

• 模擬型：±15V DC

• 數字型：24V DC

• 工作環境溫度：5°C 至 50°C

• 尺寸：約 81.8 mm（寬） × 30.5 mm（厚） × 126 mm（高）

• 重量：約 1.2 千克

• 材質：316L 不銹鋼 + 金屬密封結構（適用于超高純氣體系統）

• 安裝方式：標準面板式或機架式安裝

• 認證：CE、RoHS（依據型號）

應用領域

HORIBA SEC-Z512MGX 廣泛應用于以下領域：

• 半導體前道及后道制造（Etch、CVD、ALD、PVD）

• OLED / LCD 顯示面板生產線

• 太陽能光伏組件氣體注入系統

• 材料氣氛控制實驗平臺

• 化學氣相沉積和等離子蝕刻設備

型號說明

SEC-Z512 系列包含多個子型號，典型型號如：

• SEC-Z512MGX：通用版本，支持多種氣體及流量切換

• SEC-Z512MGXC：定制版本，適用于特定工藝需求

具體型號的通信協議、電源類型、適用氣體等參數略有差異，選型時建議結合工藝需求或咨詢技術支持。