HORIBA SEC-N112MGM 熱式質量流量控制器（MFC）

產品簡介

HORIBA SEC-N112MGM 是 HORIBA STEC 公司推出的 SEC-N100 系列中的高性能模擬型熱式質量流量控制器，廣泛應用于半導體制造、光伏產業、LED 制造及液晶面板生產等高精度氣體控制領域。該設備采用熱式質量流量計原理，結合先進的模擬控制技術，實現高精度、高響應速度的氣體流量控制。

產品特點

• 高精度控制：設定值大于 30% F.S. 時，精度為 ±1.0% S.P.；設定值小于或等于 30% F.S. 時，精度為 ±0.3% F.S.

• 快速響應：采用可變 PID 控制算法，實現 1 秒內快速響應，適應不同設定點的變化。

• 多種通信接口：支持模擬信號（0–5V、0–10V、4–20mA），滿足不同系統集成需求。

• 全金屬結構：采用 316L 不銹鋼材質，確保設備在高純度和腐蝕性氣體環境中的穩定性和耐用性。

• 安裝靈活：支持任意角度安裝，便于系統集成和維護。

技術參數

• 測量原理：熱式質量流量計（Thermal Mass Flow Meter）

• 控制方式：可變 PID 控制算法，實現快速穩定的流量調節

• 適用氣體：支持多種腐蝕性和非腐蝕性氣體，如 N?、O?、Ar、H?、SiH?、PH?、CF?、NF?、SF? 等（使用前需確認氣體兼容性）

• 精度說明：

• 當設定值大于 30% F.S. 時，精度為 ±1.0% of Set Point

• 當設定值小于或等于 30% F.S. 時，精度為 ±0.3% of Full Scale

• 響應時間：小于 1 秒，適應工藝過程中的快速切換

• 流量范圍：從 10 SCCM 到 50 SLM，根據具體型號而定，適配多種應用需求

• 通信接口：

• 模擬信號：0–5V、0–10V、4–20mA

• 電源要求：

• 模擬型產品需 ±15V DC 供電

• 工作溫度范圍：5°C 至 50°C，適用于潔凈室及標準工業環境

• 設備尺寸：約 81.8 毫米（寬）× 30.5 毫米（厚）× 126 毫米（高）

• 產品重量：約 1.2 千克，結構緊湊、便于集成

• 安裝方式：支持面板安裝或機架安裝，方便系統集成

• 產品認證：符合 CE、RoHS 等國際標準（依據型號）

應用領域

• 半導體工藝氣體輸送系統

• 真空設備中的氣體注入控制

• 等離子體蝕刻與沉積設備

• 光伏太陽能電池制造

• OLED、LED、液晶顯示面板生產線

型號說明

SEC-N112MGM 系列根據不同的通信方式和功能，分為多個子型號：

• SEC-N112MGM：支持模擬信號接口，適用于需要遠程控制和監測的系統。

• SEC-N112MGR：支持 RS-485 數字通信接口，適用于數字化控制系統。

不同型號在通信接口、電源要求、功能特性等方面有所差異，用戶應根據具體應用需求選擇合適的型號。