壓差式質(zhì)量流量控制器 D500這款技術(shù)優(yōu)良的質(zhì)量流量控制器具備壓差檢測(cè)功能和壓電驅(qū)動(dòng)閥。 CRITERION D500 適用于一系列優(yōu)良的半導(dǎo)體制程，具有壓力補(bǔ)償，多量程/多氣體/多壓力，G-LIFE（集成限流器方程的氣體定律校驗(yàn)）自診斷功能，高精度、快速響應(yīng)、寬量程、全金屬等特點(diǎn)。

產(chǎn)品型號(hào)：D500

更新時(shí)間：2025-04-07

廠商性質(zhì)：代理商

訪問(wèn)量：270

服務(wù)熱線

立即咨詢(xún)

產(chǎn)品分類(lèi)

PRODUCT CLASSIFICATION

在線分析儀器

在線傳感器壓力控制器質(zhì)量流量計(jì)

查看全部產(chǎn)品

相關(guān)文章

HORIBA 質(zhì)量流量計(jì)：高精度氣體流量控制器

HORIBA質(zhì)量流量控制器的工作原理

質(zhì)量流量計(jì)的技術(shù)優(yōu)勢(shì)與應(yīng)用

德國(guó)Hirschmann電子滴定器：“數(shù)據(jù)安全”與“設(shè)備壽命”的雙保障

產(chǎn)品介紹

品牌	HORIBA/堀場(chǎng)	價(jià)格區(qū)間	面議
產(chǎn)品種類(lèi)	質(zhì)量式	介質(zhì)分類(lèi)	氣體
產(chǎn)地類(lèi)別	進(jìn)口	應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車(chē)及零部件
動(dòng)態(tài)范圍	0.2% 滿量程至 100% 滿量程	響應(yīng)時(shí)間	< 0.8 s
功能	多氣體/多量程/多壓力

HORIBA CRITERION D500 壓差式質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品概述

CRITERION D500 是 HORIBA 推出的高性能壓差式質(zhì)量流量控制器，專(zhuān)為半導(dǎo)體工藝氣體控制設(shè)計(jì)，兼具高精度、快速響應(yīng)和穩(wěn)定性，適用于對(duì)氣體流量有嚴(yán)格要求的應(yīng)用環(huán)境。

產(chǎn)品特點(diǎn)

壓力不敏感性能（Pressure Insensitive）

內(nèi)置壓力補(bǔ)償控制技術(shù)，有效抑制供氣壓力波動(dòng)的影響
簡(jiǎn)化系統(tǒng)設(shè)計(jì)，無(wú)需額外穩(wěn)壓設(shè)備

多量程 / 多氣體 / 多壓力自適應(yīng)

支持多種氣體類(lèi)型、多種滿量程流量設(shè)定
可根據(jù)需要靈活調(diào)整供氣壓力范圍
一機(jī)多用，適應(yīng)多種工藝場(chǎng)景

G-LIFE 自診斷功能

內(nèi)置基于氣體定律（限流器方程）的自檢功能
操作人員可在3秒內(nèi)完成流量狀態(tài)測(cè)試
提高設(shè)備維護(hù)效率和生產(chǎn)連續(xù)性

三維調(diào)整技術(shù)

通過(guò)流量通道結(jié)構(gòu)與壓力傳感器的位置優(yōu)化，提升測(cè)量線性度與精度
提供更穩(wěn)定、重復(fù)性更高的流量控制

快速響應(yīng)能力

控制響應(yīng)時(shí)間小于0.8秒
滿足快速切換及精細(xì)控制需求

寬動(dòng)態(tài)控制范圍

控制范圍：0.2% ~ 100% 滿量程
精確控制微小流量至大流量需求

技術(shù)規(guī)格

參數(shù)	數(shù)值
流量類(lèi)型	質(zhì)量流量（壓力差原理）
控制方式	數(shù)字閉環(huán)控制
控制響應(yīng)時(shí)間	< 0.8 秒
控制精度	優(yōu)于 ±1.0% F.S.
重復(fù)性	優(yōu)于 ±0.2% F.S.
接口類(lèi)型	VCR / Swagelok 可選
適用氣體	多種（N?、H?、Ar、He、O? 等）
供電電壓	±15 VDC / 24 VDC
通信接口	RS-485 / DeviceNet（可選）
工作溫度范圍	15 ~ 45 ℃
氣體通道材質(zhì)	SUS316L（內(nèi)表面電拋光）