新型壓力補償質量流量控制器SEC-Z700S 系列配備了新開發的熱傳感器和壓力補償功能，可實現穩定的流量控制。集成壓力測量功能降低了氣體輸送系統的成本、尺寸和復雜性。

產品型號：SEC-Z700S

更新時間：2025-04-07

廠商性質：代理商

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HORIBA 質量流量計：高精度氣體流量控制器

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產品介紹

品牌	HORIBA/堀場	價格區間	面議
產品種類	差壓式	介質分類	氣體
產地類別	進口	應用領域	環保,化工,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件
控制范圍	0.5-100% 滿量程	精度	1%
響應時間	300ms≤t≤1000ms	功能	多氣體/多量程
操作溫度	15-60℃

HORIBA SEC-Z700S 系列新型壓力補償質量流量控制器（MFC）

產品概述

HORIBA SEC-Z700S 系列是一款高性能新型壓力補償質量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），專為高精度氣體輸送系統設計。其集成優良的熱傳感器與壓力補償算法，有效克服了上游和下游壓力波動對流量穩定性的影響，適用于半導體制造、材料工藝、精密氣體混合等領域。

產品特點

多氣體 / 多量程支持
可通過軟件設置快速切換氣體種類和滿量程流量，提升通用性與靈活性。
內建壓力傳感器與溫度傳感器
實現更精確的流量補償，適應復雜的工作環境。
高潔凈設計
流路全部采用 SUS316L 不銹鋼及金屬隔膜，表面鏡面拋光，符合半導體行業高潔凈標準。
豐富的通訊接口
支持 Analog（0-5V / 4-20mA）、DeviceNet、EtherCAT 等主流工業通信協議。
結構緊湊
相同體積覆蓋 50 SLM 以下的多種型號，簡化系統集成。
響應時間可調
支持 300ms ~ 1000ms 之間靈活調整控制響應時間。

技術規格

規格	滿量程范圍	氣體類型（可切換）	接口尺寸
SEC-Z711MGX	5 SLM	N? / Ar / H? 等	1/4" VCR
SEC-Z714MGX	20 SLM	多種氣體（可設定）	1/4" VCR
SEC-Z716MGX	50 SLM	多種氣體（可設定）	3/8" VCR