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SEC-Z500X 多量程/多氣體數字質量流量控制器。它具有多量程/多氣體功能,用戶能夠快速方便地現場更改氣體類型或滿量程流量。
新型壓力補償質量流量控制器SEC-Z700S 系列配備了新開發的熱傳感器和壓力補償功能,可實現穩定的流量控制。集成壓力測量功能降低了氣體輸送系統的成本、尺寸和復雜性。
壓差式質量流量控制器 D500這款技術優良的質量流量控制器具備壓差檢測功能和壓電驅動閥。 CRITERION D500 適用于一系列優良的半導體制程,具有壓力補償,多量程/多氣體/多壓力,G-LIFE(集成限流器方程的氣體定律校驗)自診斷功能,高精度、快速響應、寬量程、全金屬等特點。
HORIBA SEC-N100系列數字式質量流量控制器適用于各種行業和應用。該質量流量控制器可以控制不同范圍的流量:10 SCCM 至 1000 SLM。